




特種氣體使用安全
首先,應(yīng)對特氣的危害性進(jìn)行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng),機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。
其次,采用監(jiān)測手段,預(yù)防事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏。可燃性氣體應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險(xiǎn)氣體應(yīng)設(shè)置過流開關(guān)。氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測,防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應(yīng)與報(bào)警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。

特種氣體一般是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣、高純氣體或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣,其通常具有易燃易爆性、窒息性、毒性等特性,在儲(chǔ)存、運(yùn)輸過程中都需要十分謹(jǐn)慎。
特種氣體氣瓶柜的設(shè)計(jì)和制造主要是為了安全輸送易燃、易爆、有毒的特種氣體。氣柜通常是雙鋼瓶操作,兩個(gè)鋼瓶中,一只鋼瓶供氣時(shí),另一只鋼瓶備用。待供氣中鋼瓶用完,更換為另一只備用的鋼瓶繼續(xù)供氣,從而實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。在特種氣體日常運(yùn)行過程中,需要對鋼瓶進(jìn)行較為頻繁的拆裝更換動(dòng)作。然而,氣體哪家好,在實(shí)際操作中,常常發(fā)生誤拆鋼瓶的現(xiàn)象,導(dǎo)致危險(xiǎn)氣體泄漏,造成許多不必要的事故。

半導(dǎo)體器件性能的好壞,合肥氣體,在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量,電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級,都會(huì)極大地1推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍,正因如此,發(fā)達(dá)國家都在積極發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電子化學(xué)氣體,并且取得了明顯的效果,由于電子氣體質(zhì)量決定著ic技術(shù)的發(fā)展,而半導(dǎo)體器件又廣泛地應(yīng)用于民用和軍1工領(lǐng)域,且發(fā)展勢頭強(qiáng)勁,它影響到國民經(jīng)濟(jì)和國防的許多方面,氣體供應(yīng),因此,有關(guān)電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國際上多屬高度保密的技術(shù)。同光電子、微電子工業(yè)一樣,我國電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚,哪里供應(yīng)氣體,資金投入量也顯得相對不足。改革開放以來,中國政府已將ic產(chǎn)業(yè)列為國家重點(diǎn)發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè),因此,電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

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